Низковакуумные устройства, такие как вакуумная транспортировка, вакуумная пропитка, вакуумная фильтрация, монотонность вакуума, вакуумная дегазация (удаление расплавленной стали) и т. д., требуют низковакуумной насосной вытяжной установки с высоким рабочим давлением и большим объемом выхлопа, а главный насос этого Тип низковакуумной экстракционной установки Обычно используются поршневые вакуумные насосы, вакуумные насосы с масляным уплотнением, насосы с выбросом водяного пара, водокольцевые насосы, насосы Рутса и т. д. Используемая низковакуумная экстракционная установка также должна быть оснащена необходимыми пылесборниками, монотонными резервуары и другие компоненты в соответствии с чистотой, влажностью или другими особыми требованиями к извлеченному газу.

В процессе сжатия водяной пар конденсируется в капли воды и смешивается с насосом, образуя суспензию, которая не только снижает степень вакуума, но также вызывает ржавчину полости насоса и ротора, разрушает уплотняющую поверхность и снижает предельная степень вакуума насоса. По этой причине важно предотвратить загрязнение механического насоса водяным паром. К профилактическим мерам относятся:

(1) Выберите механический насос с масляным уплотнением и газобалластным устройством;

(2) Маслоотделители, центробежные сепараторы или масловодяные сепараторы прекращают утилизацию масла механического насоса, смешанного с водой, а затем направляют очищенное масло в насос для использования;

(3) Используйте монотонный агент с сильным водопоглощением;

(4) Использование охлаждающей ловушки с жидким азотом может не только эффективно поглощать водяной пар, но и предотвращать попадание масла механического насоса обратно в камеру высокого вакуума.

Загрязнение и предотвращение Вакуумный масляный диффузионный насос Система
Вакуумная система с масляным диффузионным насосом является наиболее часто используемой вакуумной системой, и ее степень вакуума колеблется от 1,3×10-3 до 1,3×10-5 Па. Различные типы вакуумных устройств, состоящие из вакуумной системы масляного диффузионного насоса, после длительного использования, общий недостаток заключается в том, что степень вакуума не может быть накачана или степень вакуума не может быть накачана до исходного предельного уровня вакуума. Это связано с загрязнением парами масла внутренней стенки вакуумной камеры и загрязнением различными загрязняющими веществами в вакуумном процессе. Методами профилактики являются:

(1) Регулярно очищайте вакуумную камеру;
(2) Регулярно очищайте механический вакуумный насос с масляным уплотнением и масляно-металлический диффузионный насос.