Дома / Новости / Новости отрасли / Каково применение насоса Рутса в вакуумной электронно-лучевой сварочной машине?

Новости отрасли

Следите за последними новостями компании и отрасли, чтобы узнавать последнюю динамику рынка и отраслевые тенденции.

Каково применение насоса Рутса в вакуумной электронно-лучевой сварочной машине?

В вакуумной машине для электронно-лучевой сварки вакуумная система также часто использует насос Рутса в качестве вспомогательного насоса для дифференциальной откачки. Насос Рутса представляет собой двухроторный объемный молекулярный аспиратор, в котором помимо объемного эффекта также применяется принцип работы молекулярного аспиратора.

При высоком давлении из-за того, что длина свободного пробега газа меньше, чем зазор, выпущенный газ будет возвращаться в больших количествах, поэтому вакуумный насос не может работать должным образом. Чтобы этот вакуумный насос работал нормально, в качестве установки вакуумного насоса обычно используется роторно-лопастной механический насос.

Когда давление на выходе переднего насоса падает примерно до 100 Па, начинает работать насос Рутса, и его максимальная скорость откачки появляется на уровне 1,33 Па. В это время длина свободного пробега газа значительно превышает ширину зазора, что значительно увеличивает возврат газа. сопротивление потоку, а его входное давление линейно связано с выходным предвакуумным давлением.

Насос Рутса имеет высокую скорость откачки в диапазоне давлений 1,33×10-2~1,33 Па, до 40000 л/с, и может быстро откачивать внезапно выделившийся газ. В этом диапазоне давлений скорость откачки роторного механического насоса уже очень мала, а масляный диффузионный насос только начал работать, поэтому два насоса не связаны по скорости откачки, а вакуумный насос Рутса первой ступени можно добавить к нему. чтобы решить эту проблему, поэтому его также называют бустерным насосом.

Связаться с нами