Когда жидкостно-кольцевой вакуумный насос работает, при определенной температуре, когда давление жидкости при низком давлении ниже, чем давление испарения (то есть давление насыщенного пара) при температуре, жидкость начинает испаряться с образованием пузырьков, и когда жидкость попадает в в зоне высокого давления образуются пузырьки. При разрыве окружающая жидкость быстро заполняет первоначальную пузырьковую полость, что приводит к гидравлическому удару. Это явление образования, развития и схлопывания пузырьков называется кавитацией.

Во время работы жидкостно-кольцевого вакуумного насоса абсолютное давление в области всасывания соответствует абсолютному давлению в перекачиваемой системе. То есть, чем выше вакуумная оболочка перекачиваемой системы, тем выше вакуум в зоне всасывания.

Жидкостно-кольцевые вакуумные насосы требуют жидкости в качестве рабочей среды. Каждая жидкость имеет соответствующее давление насыщенного пара при определенной температуре. Когда абсолютное давление в области зоны всасывания ближе к давлению насыщенного пара жидкости, жидкость ближе к кипящему вольтову состоянию. В это время на поверхности рабочей жидкости в зоне всасывания будет образовываться большое количество пузырьков. Так как пары рабочего тела, генерируемые жидкостью в рабочей камере, будут занимать часть пространства рабочей камеры, внешняя всасывающая способность насоса будет снижена. Когда давление в зоне всасывания достигает давления насыщенных паров рабочего тела, можно считать, что рабочая камера полностью заполнена парами рабочего тела. В это время внешняя всасывающая способность насоса близка к 0, и явление кавитации насоса в это время также серьезно. .

Если рабочей жидкостью является вода, то чем выше температура воды, тем больше снижается производительность насоса.

Кавитационное повреждение жидкостно-кольцевого насоса такое же, как и у центробежного насоса. Именно в том месте, где образуются и лопаются пузырьки. Металлическая поверхность подвержена кавитации, что может привести к серьезным повреждениям сот. Если рабочее колесо вакуумного насоса имеет большое остаточное напряжение в кавитационной части, это также приведет к снятию напряжения и трещинам.

Из-за внезапного лопания пузырьков в зоне высокого давления при кавитации насоса и сопровождающего его сильного гидравлического удара на поверхности возникают шум и вибрация. Слышен треск, похожий на лопающиеся бобы. Результаты измерений показывают, что диапазон частот вибрации, вызванной кавитацией, составляет 600~25000 Гц, а давление составляет 49 МПа.

Если вышеупомянутые пузырьки лопнут на металлической поверхности, металлическая поверхность будет подвергаться непрерывному и сильному гидравлическому удару, появится точечная коррозия, а металлические зерна будут разрыхлены и отслоятся в виде сот или даже перфорируются. Помимо механических воздействий, кавитационное повреждение сопровождается различными сложными эффектами, такими как электролиз и химическая коррозия. Фактическая ситуация повреждения показывает, что часть, где кавитационное повреждение проточной части насоса разрушается, является местом, где исчезают пузырьки.