Вакуумный насос DVE с масляным уплотнением представляет собой пластинчато-роторный вакуумный насос DVE, который обычно является вакуумным насосом DVE передней ступени вакуумной установки. Этот тип насоса сжимает различные смешанные газы до атмосферного давления и выпускает их в выхлопную трубу в диапазоне 60 ~ 100 ℃.

Если давление, концентрация и температура опасных продуктов в насосе относительно высоки, эти вещества накапливаются в насосе и принадлежностях насоса, и эти вещества контактируют с окружающим воздухом в выхлопной трубе и т. Д., Что составляет потенциальные опасности.

Для опасных газов, используемых или образующихся при производстве полупроводников, должны быть приняты соответствующие методы измерения для предотвращения возгорания и взрыва, обеспечения нормальной работы оборудования и предотвращения острого или хронического отравления операторов, обслуживающего персонала и обслуживающего персонала. По соображениям безопасности необходимо оборудовать подходящие вакуумные насосы DVE и аксессуары с достаточной мощностью откачки, следует принять разумные методы эксплуатации и технического обслуживания, а также оборудовать соответствующие устройства контроля.
ru.dvevacuum.com